上海微世半导体取得一种硅片进出炉结构专利，保证硅片在水平移动和转移过程中不会被微粒子污染 国家知识产权局信息显示，上海微世半导体有限公司取得一项名为“一种硅片进出炉结构”的专利，授权公告号CN223580640...
